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特氣氣體管路輸送系統(tǒng)

公司向所有電子半導(dǎo)體行業(yè)提供優(yōu)質(zhì)的工藝管道氣體輸送系統(tǒng)方案，是指半導(dǎo)體、TFT-LCD、LED、太陽能、光纖、制藥、電子、工業(yè)、實(shí)驗(yàn)室等行業(yè)大宗氣體系統(tǒng)從廠務(wù)端的供應(yīng)設(shè)備至生產(chǎn)廠房的管道連接、二次配工程，氣體通過BSGS、氣瓶柜等供應(yīng)設(shè)備和連接管道，將特殊氣體按照工藝要求的參數(shù)安全、持續(xù)的輸送至生產(chǎn)機(jī)臺(tái)，并且可以保證不間斷供應(yīng)和全自動(dòng)供應(yīng)，以實(shí)現(xiàn)持續(xù)生產(chǎn)和客戶利益＊大化。

流程圖圖例：

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HOOKUP工程：

特氣氣體輸送設(shè)備（BSGS）

用于半導(dǎo)體與LCD微電子等行業(yè)特殊氣體輸送系統(tǒng)，多用于有毒/可燃/腐蝕性和稀有氣體。

高純氣體供應(yīng)設(shè)備系統(tǒng)包括：特氣柜（GasCabinet）、氣瓶柜（BSGS）、氣瓶架(GR)、閥組箱（VMB）、閥門盤（VMP）等產(chǎn)品；

體輸送系統(tǒng)設(shè)備

? ? ? ? ?1、高純度大規(guī)模氣體輸送系統(tǒng)。

?2、不間斷供氣同時(shí)保證系統(tǒng)內(nèi)氣體純度。

?3、為客戶降低氣體輸送系統(tǒng)的成本。

?4、采用與氣瓶柜相似的技術(shù)規(guī)格。

?5、磅秤和加熱系統(tǒng)為可選項(xiàng)，可根據(jù)客戶要求進(jìn)行配置。

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? ? 設(shè)備—?dú)馄抗?GC)及氣瓶架(GR)

? ? ? ? ? 1、安全設(shè)計(jì)（柜殼）

? ? ? ? ??2、316LVIM/VAR材料

? ? ? ? ??3、根據(jù)氣體性質(zhì)應(yīng)用材料

? ? ? ? ??4、100%內(nèi)表面拋光

? ? ? ? ??5、無顆粒

? ? ? ? ??6、PLC控制與觸摸屏操作

? ? ? ? ??7、簡(jiǎn)便的操作和維護(hù)

? ? ? ? ??8、全自動(dòng)循環(huán)進(jìn)程

? ? ? ? ??9、全自動(dòng)鋼瓶切換進(jìn)程

? ? ? ? ??10、安全選型與閥門互鎖功能

??設(shè)備—?dú)怏w分流設(shè)備VMB/VMP/VDB/VDP

? 1、增大生產(chǎn)能力

? 2、減少氣瓶柜數(shù)量以降低成本

? 3、簡(jiǎn)易化設(shè)計(jì)

? 4、全自動(dòng)、半自動(dòng)及手動(dòng)控制

? 5、1X4、1X6、1X8輸出用點(diǎn)

? 6、吹掃、真空（可選）

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