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V2000型VMB/P，即氣體分流閥箱/盤，適用于制程氣體的分配和壓力調節(jié)基本功能：1、進出口壓力顯示2、各支路壓力調節(jié)3、主管路擴充閥門4、各支路高壓隔離閥5、各支路低壓隔離閥6、測試口7、氮氣吹掃可選功能：1、進出口PT顯示2、各支路過濾器3、各支路逆止閥4、主管路氣動閥（僅VMB）5、各支路氣動閥（僅VMB）6、Exaust Alarm （僅VMB）7、各支路真空排放8、RS485遠程通訊(僅VMB)附屬設施：1、電源 220VAC 2A2、供氣管路 316L EP 1/4 VCR3、吹掃管路 316L EP 1/4 VCR 100PSI PN2(999.99%)4、真空管路 316 EP 1/4 VCR 100PSI 50SLPM GN25、排放管路 316 BA 1/2 VCR6、氣動氣源 316 BA 1/4 LOK 60-90PSI GN2&CDA（僅VMB）7、排風 4'' 風壓 50Pa